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EPS150 RF 6英寸手动射频探针台操作流程与维护说明V1.1
来源: | 作者:hkeetc | 发布时间: 87天前 | 91 次浏览 | 分享到:
EPS150 RF探针台是一款美国FormFactor(Cascade)公司生产的150mm(6英寸)手动晶圆探针台。主要用于射频领域6英寸及以下的Wafer的测量表征,参数提取。由于是开放式结构,也方便适用于单粒Die以及封装后器件的测量应用。