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CM300xi-automated
    发布时间: 2019-07-23 12:37    

CM300xi with Loader是一款12英寸全自动晶圆测量探针台。性能参数完全继承了CM300xi半自动产品的特性。可以应用于低噪声IV/CV、射频微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR测量领域。

    CM300xi with Loader是一款12英寸全自动晶圆测量探针台。性能参数完全继承了CM300xi半自动产品的特性。可以应用于低噪声IV/CV、射频微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR测量领域。CM300xi集成了诸多专利技术,全球独一无二的Contact Intelligence技术满足极端复杂的环境测量挑战,如无人值守测量小尺寸Pad以及多个温度下的测量。提供电磁屏蔽、光密和防凝露的测试环境,在所有的测量应用领域均表现出无论伦比的杰出测量性能。配有晶圆处理单元,该单元可以在SEMI标准Wafer盒中配置多达50张8英寸或12英寸晶圆片。
    FormFactor在射频/微波测量领域首屈一指,有完整产品系解决方案,包括探针台、射频探针、针座、校准片、校准软件以及战略合作伙伴Keysight、VDI、OML、GORE等全球一流射频微波测量领域的专家。在射频微波领域可以完成1.1THz的晶圆、碎片、单粒以及封装的射频测量表征,同时也支持有源射频功率器件的Load-Pull、Tunner测量以及信号完整性测试。WinCalXE校准软件功能十分强大,支持1、2、3和4端口校准算法以及LRRM、LRM+、SOLT-LRRM,以及混合NIST风格的Multi-Line的RL校准,以及用于数据比较和增强的错误集管理能力,并且与Velox、Nucleus和ProberBench探测控制软件兼容,实施变温校准与测量,极大地保障了测量的一致性与稳定性。CM300xi with Loader一款可以满足上述射频性能的探针台。