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CM300xi-semi-automated
    发布时间: 2019-07-23 13:13    

CM300xi是一款12英寸半自动晶圆测量探针台,可以应用于低噪声IV/CV、射频微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR测量领域。

    CM300xi是一款12英寸半自动晶圆测量探针台,可以应用于低噪声IV/CV、射频微波RF/mmW、失效分析Failure Analysis 以及可靠性 WLR测量领域。CM300xi集成了诸多专利技术,全球独一无二的Contact Intelligence技术满足极端复杂的环境测量挑战,如无人值守测量小尺寸Pad以及多个温度下的测量。提供电磁屏蔽、光密和防凝露的测试环境,在所有的测量应用领域均表现出无论伦比的杰出测量性能。CM300xi产品有屏蔽CM300xi-S和全屏蔽CM300xi-F以及开放式CM300xi-O三个子产品版本。其中配置的前两者TRIAX卡盘漏电最大分为别3fA和15fA.

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