产品中心

—— PRODUCT ——
Tesla 200 全自动高低温机台

Tesla 200 全自动高低温机台



关键词:

大功率应用探针台

探针

wafer

功率

测量

电弧

集成


3 kV(三轴)/ 10 kV(同轴)和/ 600 A(高电流) 的测试能力。具有抗电弧解决方案, 并支持工程探针和生产探针卡。

产品详情


  FormFactor主推6英寸手动、8英寸/12英寸半自动/全自动大 功率探针台,专为IGBT/power MOSFET (GaN, SiC, Si)器 件的晶圆级测量表征。

  测试能力

  3 kV(三轴)/ 10 kV(同轴)和/ 600 A(高电流) 的测试能力。

  具有抗电弧解决方案, 并支持工程探针和生产探针卡。

  最新的TESLA200支持温度范围-55°C-300°C,可以装载。

  薄wafer、弯曲wafer和TAKIO 类型。

  系统涵盖了从研发到小批量生产的所有高功率晶圆级测 试需求。

  镀金高功率MicroVacTM Chuck 技术

  阻止薄wafer 的弯曲和破裂。

  先进的MicroVac Chuck使wafer和卡盘之间具有最小的 接触电阻。

  在高电流模式下可以精确测量MOS 管的漏源极导通电阻。

  在高温下可以精确测量非钳位感应负载开关应力。

  无缝集成

  方便地组件连接包为安全和方便地集成各大主流半导体 功率参数分析仪设备提供了保障。

  无缝地集成了扎针图像处理软件和分析/测量软件。