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PM8

PM8


所属分类:


关键词:

探测

灵活

赫兹

器件


PM8 旨在为200 mm晶圆精确分析探测应用提供高 度稳定、符合人体工程学和灵活的在片测试平 台,例如器件和晶圆表征、故障分析 (FA)、 RF/mmW 和亚太赫兹探测、光工程和 MEMS

产品详情


  PM8 旨在为200 mm晶圆精确分析探测应用提供高 度稳定、符合人体工程学和灵活的在片测试平 台,例如器件和晶圆表征、故障分析 (FA)、 RF/mmW 和亚太赫兹探测、光工程和 MEMS

  X 轴和Y轴粗行程和精细行程配合调节,快速实现至亚微米定位

  1um 可重复接触/分离行程,确保测量重复性和一致性

  出色的测量精度和可重复性 快速导航和高精度探头定位

  可针对直流、射频、毫米波、太赫兹、负载 牵引等灵活配置

  40mm台板调节范围,可以适用晶圆、模组等灵活测试