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PAP200

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PAP200是一款先进的半自动高真空和高压力环境晶圆探针台,AP200是高精密的真空探针台,可以完成200mm晶圆和基板在小于1×10E-5mbar真空条件下或者压力可以达到4.0bar的测量。设计用于工业环境和主要的研究机构,它支持MEMS和其他领域的测试。PAP200支持多种光学仪器测量,比如红外辐射源(黑体)。最多可集成8个探针定位器和/或一个探卡。

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  PAP200是一款先进的半自动高真空和高压力环境晶圆探针台,AP200是高精密的真空探针台,可以完成200mm晶圆和基板在小于1×10E-5mbar真空条件下或者压力可以达到4.0bar的测量。设计用于工业环境和主要的研究机构,它支持MEMS和其他领域的测试。PAP200支持多种光学仪器测量,比如红外辐射源(黑体)。最多可集成8个探针定位器和/或一个探卡。