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MicroProf®300

MicroProf®300



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FormFactor品牌非接触式形貌测量仪,可用于测试半导体晶圆、器件等的粗糙度、台阶高度、膜厚、 翘曲、缺陷、平整度、3DMap等方面测试。随着第三代多传感器表面测量设备的出现,FRT处于市场的最前沿。

产品详情


  FormFactor品牌非接触式形貌测量仪,可用于测试半导体晶圆、器件等的粗糙度、台阶高度、膜厚、 翘曲、缺陷、平整度、3DMap等方面测试。随着第三代多传感器表面测量设备的出现,FRT处于市场的最前沿。MicroProf®可实现广泛的测量任务,可快速、高效和直观地执行。作为现代三维表面测量技术中的标准测量设备,MicroProf®多年来给半导体、医疗和汽车行业的客户留下了深刻印象。 在/MEMS/纳米/MST、蓝宝石、光伏、工程、光学和封装等行业也有应用。

  MicroProf®300

  龙门架结构,配置多个传感器

  扫描台,扫描行程 415mm X 305mm,直接驱动,交叉滚子轴承

  编码器分辨率:50nm

  平坦度:<2um/100mm

  最大速率:300mm/s

  负载能力:5Kg

  Z轴,电动控制 50mm

  测量范围XY 415mm x305mm

  Z轴测量范围 600um

  水平分辨率 2um

  垂直分辨率 6nm