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PICOSUN™ R-200高级型

PICOSUN™ R-200高级型



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PICOSUN™ R-200标准型、PICOSUN™ R-200高级型、 PICOSUN™P-300B型号是专为科研及小批量生产提供解决方案。系统可集成手套箱,超高真空系统、手动或半自动加载系统,集群系统,粉末反应腔,反应腔和各种在线分析系统。系统可配备高功能和易于交换的液体、气体和固体化学品前体源。与手套箱、粉末室和各种原位分析系统的集成。

产品详情


  功能

  PICOSUN™ R-200标准型、PICOSUN™ R-200高级型、 PICOSUN™P-300B型号是专为科研及小批量生产提供解决方案。系统可集成手套箱,超高真空系统、手动或半自动加载系统,集群系统,粉末反应腔,反应腔和各种在线分析系统。系统可配备高功能和易于交换的液体、气体和固体化学品前体源。与手套箱、粉末室和各种原位分析系统的集成。

  典型基片尺寸和类型:50-200mm硅片、156mm*156mm光伏硅片

  处理温度:50-500℃,等离子450℃ (650 ℃加热盘可定制)

  典型工艺:Al2O3, TiO2, SiO2, Ta2O5, HFO2,ZnO,ZrO2,TiN,AlN,金属材料Pt或Ir等氧化物、氮化物或金属等材料

  前驱体源路:液态、固态、气态、臭氧源、等离子体

  4根/6根独立源管线,最多加载12个前驱体源(加上Plasma管路,共7根独立源管线)

  集群工具, PicoFlow™扩散增强器,roll-to-roll腔室、

  超高真空兼容、RGA、N2发生器、尾气处理器、定制设计,手套箱集成。(用于惰性气体下装载)