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IMC200离子注入机

IMC200离子注入机


所属分类:


关键词:


中束流200keV单价离子注入;常规B、P、As、H、N 离子注入;SiC高温Al注入

产品详情


  功能

  IMC200解决了用于新型离子注入和先进研究的设备短缺问题,提供下列性能:

  中束流200keV单价离子注入

  常规B、P、As、H、N 离子注入

  SiC高温Al 注入

  终端手动/自动上下料

  离子源可配置4路气体工艺气体及4路中性气体

  设计操作简单,直观友好用户界面

  注入晶圆尺寸:4 "、5"、 6"

  易维护、设备可通过网络与工厂快速连接在线诊断故障