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FLEXion-400®离子注入机

FLEXion-400®离子注入机


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关键词:

模式

架构

离子束

离子源


新 IBS 架构;新 IBS 磁分析仪和离子束;IHC 离子源:标准模式和溅射模式

产品详情


  功能

  新 IBS 架构

  新 IBS 磁分析仪和离子束

  IHC 离子源:标准模式和溅射模式

  高温气化器

  中束流400KeV单价离子注入

  注入晶圆尺寸:4 "、5"、6"、8"

  非均匀性:<1% @1σ,6"wafer

  SiC高温AL注入

  多达4条Toxic管线

  多达4条辅助中性气体管线

  液体源(TiCl4, CCl4…)