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Pico

Pico


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关键词:

等离子清洗机

设备

功率

需要


真空泵:规格和制造商均各有不同(按照活性炭 过滤器的需要)

产品详情


  功能

  Pico 等离子表面处理设备

  用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻

  腔室容积:根据具体版本,分为 4-15L

  供电电源:台式设备230V,立式设备400V/3相位

  气源:针型阀,质量流量控制器 (MFCs)

  电极:单层或多层,RIE

  控制系统:半自动型

  压力测量:Pirani、Baratron(适用于腐蚀性气体版本)

  计时器:数字型

  发生器:频率40 kHz: 功率 0-200W;0-1000W

  13.56MHz:功率 0-50W;0-100W;0-300W

  2.45GHz:功率 0-300W

  所有发生器均为 0-100% 无级可调型

  真空泵:规格和制造商均各有不同(按照活性炭 过滤器的需要)