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ML300EX WH 激光划片机

ML300EX WH 激光划片机


所属分类:


关键词:

定位

压力

精度

行程


线性马达冷却水:压力0.2-0.5MPa(市水)

产品详情


  功能

  满足8 英寸、12英寸晶圆划片

  X轴行程 550mm、定位精度0.002mm、直线度0.0015mm/310mm

  Y轴行程427mm、定位分辨率0.0002mm、定位精度0.002mm/310mm

  Z轴行程8.5mm、定位分辨率0.0001mm、定位精度0.001mm/1mm

  Theta轴旋转范围380°(最大)

  电压可选200/220/240/380/415 Vac±10%,3相,50-60Hz

  电源消耗:7KVA 最大

  压缩空气:压力0.5-0.7MPa

  氮气:压力0.5-0.7MPa

  线性马达冷却水:压力0.2-0.5MPa(市水)

  体积尺寸:1630(W)x 2327(D)x 1980(H) (包含FFU)