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—— PRODUCT ——
Tesla 200 全自动高低温机台
所属分类：
关键词：
大功率应用探针台
探针
wafer
功率
测量
电弧
集成
3 kV(三轴)/ 10 kV(同轴)和/ 600 A(高电流) 的测试能力。具有抗电弧解决方案, 并支持工程探针和生产探针卡。
产品详情
FormFactor主推6英寸手动、8英寸/12英寸半自动/全自动大 功率探针台，专为IGBT/power MOSFET (GaN, SiC, Si)器 件的晶圆级测量表征。
测试能力
3 kV(三轴)/ 10 kV(同轴)和/ 600 A(高电流) 的测试能力。
具有抗电弧解决方案, 并支持工程探针和生产探针卡。
最新的TESLA200支持温度范围-55°C-300°C，可以装载。
薄wafer、弯曲wafer和TAKIO 类型。
系统涵盖了从研发到小批量生产的所有高功率晶圆级测 试需求。
镀金高功率MicroVacTM Chuck 技术
阻止薄wafer 的弯曲和破裂。
先进的MicroVac Chuck使wafer和卡盘之间具有最小的 接触电阻。
在高电流模式下可以精确测量MOS 管的漏源极导通电阻。
在高温下可以精确测量非钳位感应负载开关应力。
无缝集成
方便地组件连接包为安全和方便地集成各大主流半导体 功率参数分析仪设备提供了保障。
无缝地集成了扎针图像处理软件和分析/测量软件。
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