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PM8
所属分类：
关键词：
探测
灵活
赫兹
器件
PM8 旨在为200 mm晶圆精确分析探测应用提供高 度稳定、符合人体工程学和灵活的在片测试平 台，例如器件和晶圆表征、故障分析 (FA)、 RF/mmW 和亚太赫兹探测、光工程和 MEMS
产品详情
PM8 旨在为200 mm晶圆精确分析探测应用提供高 度稳定、符合人体工程学和灵活的在片测试平 台，例如器件和晶圆表征、故障分析 (FA)、 RF/mmW 和亚太赫兹探测、光工程和 MEMS
X 轴和Y轴粗行程和精细行程配合调节，快速实现至亚微米定位
1um 可重复接触/分离行程，确保测量重复性和一致性
出色的测量精度和可重复性 快速导航和高精度探头定位
可针对直流、射频、毫米波、太赫兹、负载 牵引等灵活配置
40mm台板调节范围，可以适用晶圆、模组等灵活测试
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