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FormFactor是全球唯一在半导体晶圆测试领域产品线最完整 企业,至今有40多年产品研发制造经验。既有探针台设备、 也有完备的系列探针,校准基片、校准软件等。具体包括普 通直流探针系列、低噪声fA级直流探针系列、大功率、高压、高流探针系列、射频微波探针系列、光波探针系列等, 覆盖了先进半导体行业领域的所有半导体晶圆测量需求。
Z探针,单端支持67Hz,双端口支持50GHz带宽
ACP探针,最大频率140GHz,支持单端和双端
T-Wave探针,最高频率1.1THz
i探针,同轴频率范围DC-145GHz,波导探针最高频率 500GHz
i探针接触电阻<50mΩ@AL Pad, <20mΩ@AuPad
i探针尺寸15um,支持Pad最小尺寸25um*35um
i探针寿命,探针接触次数>25万
i探针温度范围 -65℃-125℃,承载最大500mA,最大电 压200V
i探针同轴模场到微带模转换,降低了对临近器件和传输 线的干扰
在片自动化射频校准软件Wincal XE,实施DC-1.1THz,GS/GSG/GSGSG/GSS/SSG/GSSG以及定制化多触点射频探针测试校准、支持多种Pitch间距的校准、满足1/2/3/4端口校准,支持SOLT、SOLR、LRRM、LRM+、TRL、Multi TRL等算法
Wincal XE和探针台控制软件无缝集成,也可第三方测试软件调用。
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