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功能
新 IBS 架构
新 IBS 磁分析仪和离子束
IHC 离子源:标准模式和溅射模式
高温气化器
中束流400KeV单价离子注入
注入晶圆尺寸:4 "、5"、6"、8"
非均匀性:<1% @1σ,6"wafer
SiC高温AL注入
多达4条Toxic管线
多达4条辅助中性气体管线
液体源(TiCl4, CCl4…)
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SAF Coolest v1.3.1.1 设置面板 MRVSX-ZDIX-IVSZE-ZDZ
图片ALT信息: 西安思密康电子科技有限公司
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