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产品详情
功能
Pico 等离子表面处理设备
用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻
腔室容积：根据具体版本，分为 4-15L
供电电源：台式设备230V，立式设备400V/3相位
气源：针型阀，质量流量控制器 (MFCs)
电极：单层或多层，RIE
控制系统：半自动型
压力测量：Pirani、Baratron(适用于腐蚀性气体版本)
计时器：数字型
发生器：频率40 kHz: 功率 0-200W;0-1000W
13.56MHz：功率 0-50W;0-100W;0-300W
2.45GHz：功率 0-300W
所有发生器均为 0-100% 无级可调型
真空泵：规格和制造商均各有不同(按照活性炭 过滤器的需要)
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图片ALT信息： 西安思密康电子科技有限公司
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