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ML300EX WH 激光划片机

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关键词：

定位

压力

精度

行程

线性马达冷却水：压力0.2-0.5MPa(市水)

产品详情

　　功能

　　满足8 英寸、12英寸晶圆划片

　　X轴行程 550mm、定位精度0.002mm、直线度0.0015mm/310mm

　　Y轴行程427mm、定位分辨率0.0002mm、定位精度0.002mm/310mm

　　Z轴行程8.5mm、定位分辨率0.0001mm、定位精度0.001mm/1mm

　　Theta轴旋转范围380°(最大)

　　电压可选200/220/240/380/415 Vac±10%，3相，50-60Hz

　　电源消耗：7KVA 最大

　　压缩空气：压力0.5-0.7MPa

　　氮气：压力0.5-0.7MPa

　　线性马达冷却水：压力0.2-0.5MPa(市水)

　　体积尺寸：1630(W)x 2327(D)x 1980(H) (包含FFU)

图片ALT信息：西安思密康电子科技有限公司

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