12-25
2023
半导体晶圆测量射频校准技术详解(III).V1.0
1.T传输矩阵
对于一个二端口网口,归一化入射功率波ai,反射功率波bi。S参数反应的是以入射波ai为自变量,反射功率波bi为因变量为条件下的二者相互关系,也就说描述的是所有输入信号对输入信号的影响,因此不具有级联性,不具有传递性。
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图1两端口网络输入输出信号
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而T参数反应的是以一个端口(port2)为自变量,另一个端口(port1)为因变量下二者的关系,也就是说描述的是相邻端口之间的关系。为了使信号流向一致,b1<->a2,a1<->b2。显然T参数矩阵具有传递性。
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有些书籍在定义T矩阵时,这样的矩阵貌似无法级联,请读者自行推导。
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另外T参数矩阵和S参数矩阵之间的关系不是孤立的,可以进行推导,下面直接给出二端口的S参数与T参数之间的转换公式,请参考。这也意味着,获取了一个二端口网络的S参数,也就获得了T参数。
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T参数的传递性请参考此图。
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图2 T传输矩阵推导
2.梅森Mason流程图
Mason流程图属于自动控制课程中的一项必须掌握的知识点,为了后续更好的推导TRL校准算法,在此简单地介绍,有兴趣的工程师可以在专业书籍中深入学习。
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图3 Mason流程图示意图1
Mason流程图中,节点代表变量。节点有三种类型,第一种是输入节点,也称为源节点,仅有输出支路。第二种节点是输出节点,也成为阱节点,只有输入支路。第三是混合节点,既有输入支路又有输出支路的节点,混合节点上的信号是所有输入支路引入信号的叠加。混合节点可以增加一个输入支路增益为1的节点,变为输出节点。
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图4 Mason流程图示意图2
X1、X5为输入节点,X4为输出(阱)节点,其他节点为混合节点。
传输:两个节点之间的增益称为传输,例如X1、X2之间的增益为a,则传输也为a。
前向通路,信号从输入节点到输出节点传递时,每个节点只通过一次的通路称为前向通路,例如X1->X2->X3->X4,总增益为a*b*c。
回路,通路的起点就是通路的终点,并且与其他节点相交不多于一次(仅有1次相交或者没有相交)的闭合通路。X2->X3->X2,增益为be,X2->X2,也称为自回路,增益为d。
不接触回路,指的是相互之间没有公共节点的回路。这个例子中没有,因为两个回路有一个公共节点X2。
输入到输出通道上的传递函数MASON流程图公式如下:
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在此再呈现一个例子,求解C(s)/R(s)
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图5 Mason流程图示意图3
第一步,找出所有单独回路,并求解出各自的增益.
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图6 Mason流程图示意图4
L1=-G4*H1,
L2=-G2*G7*H2
L3=-G6*G4*G5*H2
L4=-G2*G3*G4*G5*H2
特征式△=1-(L1+L2+L3+L4)+L1*L2
第二步,前向通路以及对应的余因数。
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图7 Mason流程图示意图5
P1=G1*G2*G3*G4*G5,△1=1
P2=G1*G6*G4*G5,△2=1
P3=G1*G2*G7,△3=1-L1
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3.S参数流程图
只有对MASON图掌握后,才能比较好的掌握S参数的流程图。S参数的流程图是Mason流程图的具体应用。
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图8 S参数流程图
1.变量a1、b1、a2、b2作为节点。
2.S参数作为分支
3.a1、a2、b1、b2分别属于什么节点呢?从图中直观的看,a1、a2均为混合节点,b1、b2也为混合节点。节点1、节点4为输入节点,节点2、3属于输出节点。怎么和正常理解的a1、a2为输入节点、b1、b2属于输出节点不一致呢。这些是通过增益为1的分支来扩展。
4.b1和b2,根据流程图,可以表达为b1=s11*a1+S12*a2,b2=s21*a1+S22*a2.
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图8实际测试S参数连接图
5.实际应用中,1、2、3、4节点均有具体的含义是什么?实际测试器时,链路上需要源和负载的。因此源source端也是一个1端口网络,负载也是一个1端口网路。
这个是source端的单端口网络信号流程图,方向为从外面向源端看进去的网络图。
a为输入,b为输出,反射系数Гs在这里等效为S11.
同样地,Load也是个单端口网络信号流程图,方向为从外面向Load看进去的网络图。
a为输入,b为输出,反射系数ГL。
将Source端和Load端级联在一起,流程图如下,Load端用a’、b’来标准是,否则重复,分不清楚。
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图9源端和负载理想连接在一起的流程图
实际上源端和负载Load端之间有传输线,或者其他器件,因此也有一个二端口网络。具体
请参考图10。每个单独网络均遵从从外向网络里看进去的方向,且a入,b出的原则。
见图图10.
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图10源端和负载总链路信号流程图
4.TRL校准
通过前面系列的文章看到了网络分析仪的测试模型由12项模型、再不考虑泄露的情况下可以使用10项模型代替,10项模型与8项误差模型可以进行推导。
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图11网络分析仪的8项误差模型
当看到图11的这种误差模型,很容易想到在射频实际测试量时遇到的类似问题。工程上经常要测试某一个器件的S参数,工程师们需要把这个器件焊接在一块电路板上,然后在器件的IN、OUT端口延伸一段传输线,两端分别再焊接上射频连接器。然后可以使用网分来测量。但是会遇到了新的问题,如何去嵌入射频同轴连接器和一段传输线的影响呢,获取到真正器件的S参数呢。
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图12器件测试去嵌入图
为了获取DUT的真实S参数,最简单的方法是通过分别测试制作的OPEN、THRU、LINE标准件来求解出误差盒A、B中的误差项,然后得到DUT的S参数。
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图13接入反射标准件梅森Mason图
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图14接入THRU标准件梅森Mason图
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图15接入LINE标准件梅森Mason图
根据T矩阵的级联,可以进行如下推导.RM为从1、2端口实测的T参数。RA为误差盒A的T参数,RB为误差盒B的T参数,RM可以是直通件、Line传输线等。
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连接直通THRU,RT为连接THRU时测试到的T矩阵。
连接直通LINE,RD为连接LINE时测试到的T矩阵。
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定义:img37且为已知参数。
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a/c和b是二次方程t21x2+(t22-t11)-t12=0的两个根。另外,
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在同轴和非同轴之间良好的过渡设计时,S11、S22的绝对值远小于1,因此,|b|远小于1,|a/c|远大于1。通过img50来对根进行选择。
至此,a/c和b已经求解出,通过在网络中接入THRU、LINE标准件。通过求解方程来看,在求解过程中其实是不需要知道LINE线延迟长度。但是要求LINE线是一段阻抗匹配线,即无反射。这是由于代入img51决定的。
对于矩阵img52,得出行列式关系:
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继续推导:
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其中g、d、e、f为已知参数
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---至此,γ22*ρ22、γ、β/α、γ*a也已经求解出。
下面在连接反射标准件,得相关的方程。
记W1为网络分析仪从1端口测试得到的反射系数,为已知参数。ГR为标准件的实际反射系数。W2为网络分析仪从2端口测试得到的反射系数,为已知参数。
根据梅森Mason图,会得到两个方程:
其实两个方程的推导中间省去了较多过程,推导过程在此予以补充与分享:
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a的±与ГR来决定,与接入标准件的反射系数相关,标准件可以是开路,也可以是短路标准件的。
5.总结
TRL校准是一种对标准校准件依赖较少的校准算法,从推导中可以看出。在求解过程中其实是不需要知道LINE线延迟长度,但严格要求LINE线是一段阻抗匹配线。也是不需要事先知道反射标准件的反射系数的,仅要求连接到网分两个端口的标准反射件是同一个标准反射件,因此TRL校准的精度较高,特别在毫米波阶段是一种主流的校准算法。